表面纹理会影响产品的性能和可靠性，比如半导体、光伏、LED等等领域的产品。粗糙度是表征表面纹理最常用的参数，因此，了解表面粗糙度测量和分析在优化制造工艺和提高产品质量方面起着关键作用。美能SP200探针式台阶仪可以测量物体表面的台阶高度、表面粗糙度、2D形状以及3D形貌等参数，帮助用户完美的把控产品质量。本期「美能光伏」将带您了解SP200探针式台阶仪。

美能SP200探针式台阶仪工作原理

探针式轮廓测量技术，类似于将老式的唱片机的唱针旋转45°，使唱针响应唱片凹槽底部的形状。美能SP200探针式台阶仪的工作原理，是将探针在被测物体的表面轻轻滑过时，被接触的物体表面的微小的峰谷就会让探针在进行滑行的同时，也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。

功能介绍

SP200探针式台阶仪是一台先进的微纳测量仪器，采用出色的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件，可实现可靠、高效、简易的样品检测。

功能点一：台阶高度

功能点二：粗糙度和波纹度

SP200可以测量2D纹理，量化样品表面的粗糙度和波纹度。

功能点四：应力：薄膜应力

SP200使用应力卡盘样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

薄膜未受到束缚时的示意图

应力造成薄膜与基板发生的形变示意图

SP200探针式台阶仪采用探针式表面轮廓测量技术，是传统表面形貌测量的一个突破性发展，能为用户带来更好的测量体验，帮助用户从研发到质量控制的完美把控。下期「美能光伏」将带您了解SP200探针式台阶仪的优势特点。